此系列質(zhì)量流量計(jì)采用差壓式原理，通過流體經(jīng)過節(jié)流元件時(shí)，產(chǎn)生的壓力差來計(jì)算流量，產(chǎn)品內(nèi)置PID調(diào)節(jié)功能，與電磁比例調(diào)節(jié)閥配合使用，實(shí)現(xiàn)對流量的精確控制。當(dāng)流體從管道流經(jīng)節(jié)流元件時(shí)，流速增加，靜壓降低，從而在節(jié)流元件前后產(chǎn)生差壓。傳感器對差壓...

PID控制是一種經(jīng)典且廣泛應(yīng)用的反饋控制算法，通過比例（P）、積分（I）、微分（D）三個(gè)環(huán)節(jié)的組合，實(shí)現(xiàn)對系統(tǒng)誤差的動態(tài)調(diào)節(jié)，使被控量（如壓力、溫度、流量等）穩(wěn)定在設(shè)定值附近。其核心原理是通過實(shí)時(shí)計(jì)算設(shè)定值與實(shí)際值的偏差，并基于偏差的比例、...

ACU10FCH系列高溫型質(zhì)量流量計(jì)，可快速精確測量過程氣體/液體/蒸汽的體積流量/質(zhì)量流量；采用定制的高速比例控制閥對氣體/液體/蒸汽體積流量/質(zhì)量流量進(jìn)行精確控制。產(chǎn)品應(yīng)用：ACU10FCH系列高溫式質(zhì)量流量計(jì)&流量控制器廣泛應(yīng)用于各行...

我司的微小液體流量的控制器采用科里奧利原理，結(jié)合電磁比例閥，內(nèi)置PID自動調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)了自動控制流量的功能。其內(nèi)部包含一個(gè)獨(dú)特形狀的單回路傳感器，構(gòu)成振蕩系統(tǒng)的一部分。當(dāng)流體流經(jīng)傳感器回路，科里奧利力引起可變相移，傳感器檢測到該相移并傳輸?shù)郊?..

我司層流差壓式原理的質(zhì)量流量計(jì)/流量控制器，通過流體經(jīng)過節(jié)流元件時(shí)，產(chǎn)生的壓力差來計(jì)算流量，產(chǎn)品內(nèi)置有高精密層流元件，與電磁比例調(diào)節(jié)閥配合使用，內(nèi)置PID調(diào)節(jié)功能，實(shí)現(xiàn)對流量的精確控制。當(dāng)流體從管道流經(jīng)節(jié)流元件時(shí)，流速增加，靜壓降低，從而在...

在薄膜制作工藝中，某些金屬有機(jī)化合物（MOCs）、氫化物、氨氣等前驅(qū)體蒸氣壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓（760Torr），在常溫下很難蒸發(fā)。這些前驅(qū)體需要被輸送到化學(xué)氣相沉積(CVD)反應(yīng)器中，傳統(tǒng)的方法是，使用溶劑/溶質(zhì)化學(xué)和液體輸送。某些固體前...