氣體或液體質量流量計MFM及質量流量控制器MFC主要涉及的三種原理

      目前市場上常用的氣體質量流量計或質量流量控制器主要基于三種基礎原理：1、熱式原理，2、差壓式原理，3、科里奧利原理。而液體則主要涉及差壓式原理和科里奧利原理，熱式原理較少用于液體。而常用于氣體的熱式原理又分為三類。簡單介紹如下：

      1、熱式原理又主要分為毛細管熱式，插入式熱式，以及微電子（MEMS流量芯片）熱式三種，雖然這三種熱式的結構不同，但是原理都是用傳感器感知氣體帶走熱量多少換算出氣體的質量流量。 

         在這三種熱式質量流量計中，以毛細管熱式技術較常用，工況適應性較強，很多大的國際品牌均以此原理為主，例如bronkhorst布朗克斯特，horiba等，還有很多國產品牌也是毛細管熱式原理。

      2、壓差式，原理是利用泊肅葉定律來進行補償計算，通過測量氣體或液體經過某段管道內前后的壓力差，計算得出氣體的體積流量，然后再換算到標準工況下流量。主要是以美國的Alicat艾里卡特等品牌為代表。（這里的壓差式指的主要是用于小管徑的小流量的應用，不包括用于大管徑的孔板類差壓流量計）。這種壓差式原理既適用于氣體也適用于液體，但是這種原理的耐壓性能比熱式的要差一些，所以一般壓力較高的場景，不建議使用壓差式原理。

       3、科里奧利原理質量流量計，其原理是當流體流經傳感器回路時，由于科里奧利力引起可變相移，這種位移與流體的質量成正比；實際上，科里奧利質量流量計給出的流量數據是純粹的質量流量，有較高的精確度，在實際應用中更多被用于各種液體流量的測量與控制，或者不知道具體組分的混合氣體，以及超高壓氣體，或氣液混合的流體。        實際上任何產品原理只是使其具備某些優異性能的一部分因素，而一臺氣體質量流量計所具備的性能優劣以及所能適應的場景，還需要從硬件技術、軟件技術、制造經驗等多方面考慮；如過只是應用了很好的原理，但是其它技術配合不夠理想，那么產品性能可能還不如用傳統原理做出的產品。

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